Z gminy Zakrzów do powiatu tarnowskiego włączono Ilkosławice. Siedzibą starostwa powiatowego był Tarnów. W 1867, 1878 i 1886 roku zmieniały się granice powiatu tarnowskiego. Zmiany granic i proces konsolidacji doprowadziły do zmniejszenia liczby gmin w powiecie. Od około 1888 roku powiat tarnowski składał się 85 gmin politycznych (86 gmin katastralnych)Szematyzmy Królestwa Galicyi i Lodomeryi z Wielkiem Księstwem Krakowskiem z lat 1870-1914. Powierzchnia powiatu w 1869 roku wynosiła 818,23 km², a liczba ludności 90 287. W 1902 roku w powiecie tarnowskim mieszkało już ponad 107 tys. osób, a w 1912 liczba ludności przekraczała 112 tys..
Po odzyskaniu przez Polskę niepodległości, austriacki porządek administracyjny przetrwał do 1921 roku. 1 września 1921 powiat tarnowski stał się częścią województwa krakowskiego.