Zależność dla mechanizmu międzywęzłowego Heterodyfuzja atomów (tzw. międzywęzłowych) o małych promieniach atomowych (np. wodoru, węgla, azotu, tlenu) w metalach jest znacznie szybsza od dyfuzji własnej oraz heterodyfuzji mechanizmem wakansowym. Spowodowane jest to mniejszymi wartościami energii aktywacji. Rozbudowana wersja zależności temperaturowej współczynnika heterodyfuzji odbywającej się mechanizmem międzywęzłowym wyraża się relacją:
gdzie: – współczynnik korelacji dla domieszki (małe stężenie duże stężenie ), – czynnik geometryczny (zależy od typu struktury), – parametr sieci [m], – częstotliwość prób przeskoku atomu (częstotliwość Debye’a) [1/s], – entropia migracji atomów domieszki [J/K], – stała Boltzmanna [J/K], – entalpia migracji atomów (energia aktywacji dyfuzji domieszki) [J].
Zależność dla mechanizmu wakansowego Heterodyfuzja atomów o promieniach atomowych zbliżonych do atomów rozpuszczalnika odbywa się różnymi prędkościami, zależnymi od wielu parametrów.