W przypadku tokospermii samiec przekazuje samicy spermatofor za pomocą szczelinowatej spermatotremy położonej na palcu ruchomym jego szczękoczułków, umieszczając go w otworze płciowym samicy lub przekazanie spermatoforu odbywa się bezpośrednio z otworu płciowego samca do otworu samicy. W przypadku podospermii spermatofor lub samo nasienie przekazywane za pomocą palcowatego spermatodaktylu na szczękoczułkach samca do solenostomów samicy – specjalnych otworów przy biodrach lub na krętarzach trzeciej pary odnóży. Z otworów tych transportowany jest wewnętrznie do organu Michaelisa i tam następuje zapłodnienie.
Rozwój pozazarodkowy ma charakter metamorfozy. U Opilioacarida pierwszym stadium jest prelarwa, a u pozostałych grup sześcionożna larwa. Po larwie następuje jeszcze od jednego do ośmiu stadiów nimfalnych, przy czym najczęściej są one dwa: protonimfa i deutonimfa.