Na początku listopada 2011 ostatecznie utracił większość w Izbie Deputowanych, nie będąc w stanie przeforsować nowego budżetu. 12 listopada podał się do dymisji, cztery dni później zastąpił go na urzędzie bezpartyjny Mario Monti.
W wyborach w 2013 polityk z powodzeniem wystartował do Senatu XVII kadencji. W tym samym roku zapadł ostateczny wyrok skazujący go na karę pozbawienia wolności za przestępstwa podatkowe. Konsekwencją stał się zakaz pełnienia funkcji publicznych, na skutek którego jeszcze w 2013 polityk utracił miejsce w Senacie.
Pozostał na scenie politycznej jako lider FI. Jego partia utraciła jednak znaczną część poparcia, a w 2018 straciła status najsilniejszej formacji na prawicy na rzecz Ligi Północnej. Jego aktywność poza problemami prawnymi ograniczały także problemy zdrowotne. W 2019 Silvio Berlusconi wystartował w wyborach europejskich z ramienia Forza Italia, uzyskując mandat deputowanego do PE IX kadencji.
W 2022 z ramienia centroprawicowej koalicji został natomiast wybrany do Senatu. Funkcje senatora i przewodniczącego FI pełnił do czasu swojej śmierci w 2023.