Micro-Electro-Mechanical Systems, skratka MEMS (slovensky mikromechanické systémy, mikromechanika), označuje mechanické a elektromechanické konštrukcie veľmi malých rozmerov (pod 1 mm), ako aj technológie používané na ich prípravu. Pre ilustráciu rozmerov typických MEMS sa často používa priemer ľudského vlasu (asi 50 μm).
Materiály a technológie Na prípravu MEMS sa využívajú technológie prevzaté z mikroelektroniky (t. j. výroby čipov): fotolitografia selektívne leptanie iónové odprašovanie selektívne nanášanie kovových a nekovových vrstiev
Podobne, aj materiály používané v MEMS sú často prevzaté z mikroelektroniky, napr. kremík, SiO2, rôzne kovy a polyméry.
Súčasné využitie senzory senzory zrýchlenia použité na detekciu nárazu v automobile (iniciuje spustenie airbagu) vibračný gyroskop pre snímanie pohybu zobrazovacie prvky polia mikrozrkadiel
Potenciálne využitie mikroroboty pre operácie vnútri ľudského tela (bez toho aby človek musel liezť pod skalpel - stačí keď prehltne "pilulku" a dané robotické systémy urobia všetko potrebné) miniatúrne motory, ktoré môžu byť použité v zabezpečovacích systémoch v špionážnej technike (ak sa už nevyužíva:) hlavne pre jeho malé rozmery demonštrácia možností: malé roboty menšie ako zrnko ryže "kolotoč" pre blchy
Iné projekty
Kategória:Elektronika Kategória:Strojárstvo Kategória:Mikrotechnológia