Метилсилан — органическое соединение, алкилпроизводное моносилана, воспламеняющийся, бесцветный газ с неприятным запахом, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.
Получение Реакцией монохлорсилана с диметилцинком:
Восстановлением метилтрихлорсилана алюмогидридом лития:
Реакция диспропорционирования метилдиэтоксисилана:
Физические свойства Метилсилан — бесцветный газ с неприятным запахом, воспламеняется на воздухе, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.
Химические свойства Термическое разложение метилсилана используют для получения плёнок карбида кремния:
Реагирует с галогенами:
Применение Используется в качестве исходного сырья для газофазного осаждения карбида кремния при изготовлении композиционных материаллов, а также в процессе получения фоторезистов и других полупроводниковых материалов.
Литература
Метил Категория:Газы