光誘起力顕微鏡（ひかりゆうきりょくけんびきょう、）は、原子間力顕微鏡とレーザー光を組み合わせた顕微鏡。
概要 試料と原子間力顕微鏡の探針に特定波長のレーザー光を照射することでその光波長に特に反応（誘起）する特定の材料が誘起され、材料と誘起されたAFM探針を近づけることにより、材料の相互作用が検出される。これにより10nm以下の空間分解能のケミカルイメージと1cm-1の高分解能のスペクトルが取得できる光誘起力顕微鏡。
用途 トナーの評価 極端紫外線リソグラフィの評価 各種蛍光標準試薬の組成の画像 コラーゲン組成の画像 高分子ブレンド有機太陽電池組成の画像 分子の結合状態の観察
脚注
参考文献 Brocious, Jordan. "Ultrafast Photo-induced Force Microscopy." (2014). Jahng, Junghoon, and Eric O. Potma. "Nanoscale spectroscopic imaging with photo-induced force microscopy." Laser Science. Optical Society of America, 2015. Jahng, Junghoon. Photo-induced force microscopy and spectroscopy. University of California, Irvine, 2015. Tumkur, Thejaswi U., et al. "Photoinduced force mapping of plasmonic nanostructures." Nano letters 16.12 (2016): 7942-7949. Jahnga, Junghoon, et al. "Photo-induced force for spectroscopic imaging at the nanoscale." Proc. of SPIE Vol. Vol. 9764. 2016.