自己整合（じこせいごう、）とは、例えば半導体等の集積回路作製プロセスにおいて、既に形成されたパターンを次のプロセスのマスクとして利用し、マスクの位置合わせ無しで次のプロセスを進めることである。 また、最初のパターンあるいは形状が最終的な素子のパターンあるいは形状を決定する場合も自己整合と呼ぶ。 自己組織化 (Self-assembly) とは異なる。

関連項目 薄膜トランジスタ 自己集合 自己組織化 自己組織化リソグラフィ 有機体論 創発 階層構造 複雑適応系 ネゲントロピー 散逸構造生成 イリヤ・プリゴジン ナノマシン、ナノテクノロジー NEMS

脚注・参照