Pompowanie Aby otrzymać próżnię do celów naukowych lub specjalistycznych, stosuje się kilka poziomów pomp. Standardowy układ do otrzymywania wysokiej HV lub bardzo wysokiej UHV próżni składa się z: przedpróżnia pompa olejowa („pompa rotacyjno-skrzydełkowa”) zakres pracy: od ciśnienia atmosferycznego do max mbar próżnia wysoka pompa turbomolekularna zakres pracy: od mbar do max mbar pompa dyfuzyjna zakres pracy: od mbar do ok. mbar próżnia bardzo wysoka pompa jonowa najczęściej z wbudowaną pompą sublimacyjną (tytan) zakres pracy: od mbar do ok. mbar
Wygrzewanie komory W celu otrzymania bardzo wysokiej próżni podczas pompowania wstępnego komorę próżniową wygrzewa się. Głównie robi się to, aby usunąć wodę, olej oraz inne parujące substancje ze ścian komory.
Wygrzanie komory polega na rozgrzaniu jej do temperatury około 200 °C (od 150 do 300 °C) na jeden do kilku dni, przez co następuje przyspieszona (w stosunku do desorpcji w temperaturze pokojowej) desorpcja cząsteczek ze ścian komory.
Zobacz też
podciśnienie pompa próżniowa próżniomierz energia próżni bardzo wysoka próżnia UHV przestrzeń kosmiczna
Przypisy