Taki stan rzeczy trwał do 15 kwietnia 1415 roku, kiedy to biskup krakowski, Wojciech Jastrzębiec, erygował parafię tarnowicką.
W latach 1570–1608 była własnością gminy luterańskiej.
W 1707 roku kościół został przebudowany z inicjatywy ówczesnych właścicieli Tarnowic, rodzeństwa Ohm-Januszewskich: Wacława i Felicji Anny Hunter de Grandon (nazwisko po mężu). Pracami kierował tarnogórski murarz Mikołaj Kołodziej. Do prezbiterium dobudowano wówczas absydę, wnętrze nakryto nowym ceglanym sklepieniem kolebkowym z lunetami oraz rozbudowano zakrystię. Od strony północnej do nawy dobudowano barokową kaplicę św. Wacława (pierwotnie św. Anny), w podziemiach której przygotowano kryptę grobową dla Hunter de Grandonów i Ohm-Januszewskich herbu Bełty (w późniejszym okresie chowano tam również księży parafii św. Marcina). Zmieniono również nieco kształt dachu oraz wykonano cenne polichromie. W podniebieniu łuku tęczowego do dziś widnieje napis fundacyjny w formie chronostychu z herbami głównej fundatorki. Rok później kościół został ponownie konsekrowany przez biskupa Michała Szembeka.