Dyfuzja własna (samodyfuzja) – proces polegający na dyfuzji atomów danego pierwiastka w materiale zbudowanym z tego samego pierwiastka. Dyfuzja własna jest podstawowym procesem dyfuzyjnym odbywającym się w ciałach stałych.
Ogólne informacje Badanie tego procesu odbywa się poprzez wprowadzenie do przygotowanej próbki pierwiastka innego izotopu (stabilnego lub promieniotwórczego). Atomy odgrywają rolę wskaźników dyfuzji. Wskaźnik jest identyczny chemicznie względem atomów pierwiastka różni się tylko masą (spowodowane to jest inną liczbą neutronów w izotopie). Entalpia aktywacji /energia aktywacji i współczynnik korelacji bardzo słabo zależą od masy, dlatego na ich podstawie można wnioskować o dominującym mechanizmie dyfuzji w danym ciele.
Współczynnik dyfuzji wskaźnika oznacza się jako i można zapisać dla niego poniższą relację Arrheniusa:
lub
gdzie: – przedeksponencjalny współczynnik dyfuzji [m²/s], – entalpia aktywacji/energia aktywacji dyfuzji [J], – stała Boltzmanna [J/K], – temperatura bezwzględna [K].