Do napędu prototypu zastosowano francuski silnik widlasty Hispano-Suiza o mocy 150 KM (110 kW).
Prototyp samolotu oznaczono jako S.E.5 (skrót od ang. Scout Experimental – pol. Wywiadowczy Doświadczalny). Prototyp oblatano w listopadzie 1916 roku. Jego próby w locie trwały do grudnia 1916 roku, kiedy to mjr pil. F. W. Godden przeleciał nim do Francji. W styczniu 1917 roku prototyp samolotu Royal Aircraft Factory S.E.5 uległ katastrofie z powodu złej jakości okuć płatów i zbyt małej jeszcze sztywności konstrukcji ich komory.
Po szybkim usunięciu usterek i zastosowaniu silnika Hispano-Suiza o większej mocy 200 KM (147 kW) pod koniec stycznia 1917 roku uruchomiono produkcję seryjną samolotu Royal Aircraft Factory S.E.5.
Po wyprodukowaniu 60 samolotów S.E.5 wprowadzono dalsze drobne zmiany w konstrukcji samolotu, m.in. usunięto wielki wiatrochron, zmieniono obrys końcówek płatów, dodano owiewkę za głową pilota, zamontowano długie rury wydechowe i do napędu zastosowano silnik budowany na licencji w Wielkiej Brytanii o nazwie Wolseley Viper. Tak zmodernizowany samolot oznaczono jako Royal Aircraft Factory S.E.5a i produkowano go w tej wersji do końca I wojny światowej.
Łącznie wyprodukowano ok.