Można stosować działa pracujące w temperaturze pokojowej (emisja polowa na zimno) i w podwyższonej temperaturze (emisja polowa Schottky’ego)

W skaningowej mikroskopii elektronowej stosuje się najczęściej napięcie przyspieszające z zakresu 5–20 kV. Stosowanie większych napięć przyspieszających pozwala otrzymywać informację z większych głębokości próbki i uzyskać widma charakterystycznego promieniowania rentgenowskiego cięższych pierwiastków. Niskie napięcie przyspieszające ułatwia detekcję lekkich pierwiastków o niskiej zawartości w próbce. Duże wartości napięcia przyspieszającego powodują skrócenie żywotności katody. W tabeli poniżej przedstawiono parametry różnych typów katod przy wykorzystaniu stałego napięcia przyspieszającego rzędu 20 kV:

+ Zestawienie różnych parametrów dział elektronowych przy napięciu przyspieszającym 20 kV Działa termoemisyjne Działa z emisją polową Parametry Wolframowe LaB6 S-FEGDziało z emisją polową Schottky’ego. C-FEGDziało z emisją polową na zimno. Jasność β [A/cm²⋅sr] 105 106 108 108 Temperatura emisji [°C] 1700÷2400 1500 1500 25 Średnica wiązki [nm] 50000 10000 100÷200 20÷30 Wielkość źródła [nm] 30000÷100000 5000÷50000 15÷30 <5 Prąd emisyjny [µA] 100÷200 50 50 10 Odchylenie energetyczne ΔE [eV] 1-3 1-2 0,3-1 0,3 Żywotność [h] 40÷100 200÷1000 >1000 >1000 Minimalna wielkość próżni [Pa] 10−2 10−4 10−6 10−8 Stabilność [%/h] <1 <1 1 4÷6

Układ optyczny