w 1927 roku George Thomson wykazał dzięki temu falowe własności elektronów, przepuszczając promienie katodowe przez cienką folię metalową, natomiast w latach 40. XX wieku fakt ten został wykorzystany przez B.K. Vainshteina i jego zespół do pionierskich prac nad zastosowaniem niskoenergetycznych elektronów do badania struktury powierzchni materiałów metodą dyfrakcji elektronów. Odległości w sieciach krystalicznych pozwalają na badanie tych struktur metodą rentgenografii strukturalnej.
W 1814 roku Joseph von Fraunhofer skonstruował spektrometr optyczny złożony z pryzmatu, szczeliny oraz teleskopu. Fale elektromagnetyczne po przejściu przez szczelinę w warunkach dyfrakcji Fraunhofera (tj. przy dostatecznie dużej odległości pomiędzy aperturą a ekranem) tworzą profil intensywności użyteczny w spektroskopii, natomiast profil powstający w warunkach dyfrakcji Frensela (niewielka odległość apretury od ekranu) jest wykorzystywany w litografii. Obecnie w znacznej części metod spektroskopowych najczęściej stosowane są siatki dyfrakcyjne, jednak w przypadku spektroskopii rentgenowskiej zastosowanie pojedynczych szczelin bywa