Krystianem Chojeckim na czele oraz właściciela ziemi opolskiej, króla Polski Jana II Kazimierza Wazy w latach 1656–1659 zbudowali oni drewniany klasztor na Górze Świętej Anny. W latach 1671–1673 na miejscu starego zbudowano nowy kościół w stylu barokowym fundacji hrabiego Gaschina. W latach 1733–1749 powstał murowany zespół klasztorny, do którego w 1768 r. dobudowano Rajski Plac (dziedziniec arkadowy), na którym obecnie stoi 15 stuletnich konfesjonałów. Jednocześnie w 1754 r. na kościele dobudowano sygnaturkę. W latach 1700–1709 wybudowano z fundacji hrabiego Gaschina 33 kaplice kalwaryjne, na południowo-wschodnich stokach góry. Zaprojektował je opolski architekt Domenico Signo. Nominalnie były własnością parafii w Leśnicy, faktycznie nie były użytkowane aż do 1763 roku, kiedy kalwarię przejęli zakonnicy z Góry Świętej Anny i podjęli działania, by uczynić je miejscem pielgrzymowania. W okresie 1756–1764 odnowiono stare kaplice, dobudowano 4 nowe, w 1764 r. uzyskano odpust papieski dla kalwarii. W 1766 r. o. Stefan Staniewski opracował program odprawianych na kalwarii nabożeństw, a teksty modlitw i pieśni umieścił rok później w polskim modlitewniku o. Wacław Waxmański. 12 września 1779 r. wyruszyła z Bytomia do Góry Świętej Anny pierwsza śląska pielgrzymka, zapoczątkowując ruch pielgrzymkowy do sanktuarium.