8 grudnia 1591 roku ponowił swoje śluby zakonne w sposób uroczysty, wraz ze swoimi 25 współbraćmi. 2 listopada 1607 roku zrezygnował z urzędu Generała Zakonu. Zmarł 14 lipca 1614 w Rzymie.
Za życia Kamila jego bractwo prowadziło 65 szpitali w całej Italii. Praca wykonywana w tych placówkach była tak ciężka i ryzykowna, że jeszcze za życia założyciela 100 braci zmarło na skutek zarażenia się od pacjentów.
Beatyfikacja i kanonizacja 13 kwietnia 1617, generał zakonu kamilianów, o. Franciszek Nigli zwrócił się z prośbą do papieża Pawła V o ogłoszenie Kamila de Lellis błogosławionym. W 1619 rozpoczął się proces beatyfikacyjny na szczeblu diecezjalnym, a w 1625 proces apostolski. Przesłuchano prawie 300 świadków. Proces beatyfikacyjny został jednak wstrzymany po wydaniu breve „Caelestis Hierusalem cives” przez papieża Urbana VIII mówiącym o tym, że nie można nikogo ogłosić błogosławionym lub świętym jeśli od jego śmierci nie upłynęło 50 lat. W latach 1662–1665 trwało przygotowanie do wznowienia procesu, lecz z powodu zaginięcia części dokumentów proces beatyfikacyjny został zawieszony.
8 kwietnia 1742, papież Benedykt XIV beatyfikował Kamila, a 19 czerwca 1746 wyniósł go do chwały świętych.