Największymi nowo powstałymi tego typu obozami były: Stutthof (sierpień 1939), Auschwitz (wiosna 1940), Neuengamme (czerwiec 1940), Natzweiler-Struthof (lipiec 1940), Groß-Rosen (1940), Bergen-Belsen (październik 1940), Majdanek (październik 1941), Hertogenbosch (styczeń 1942), Ryga-Kaiserwald (Salaspils – maj 1943), Mittelbau-Dora (koniec 1943). Przy lokalizacji obozów brano pod uwagę m.in. położenie dogodne ze względów transportowych, sąsiedztwo dużych zakładów produkcyjnych lub kamieniołomów w celu wykorzystania pracy niewolniczej więźniów (np. Mittelbau-Dora, Groß-Rosen).
Wraz z atakiem Niemiec na ZSRR specjalne szwadrony rozpoczęły akcję masowych mordów na Żydach, najpierw mężczyznach i chłopcach, potem również kobietach i dzieciach. W obliczu problemów organizacyjnych, wysokich kosztów oraz trudności psychologicznych dla katów związanych z tak licznymi egzekucjami w 1941, a szerzej od 1942 r., wybrane placówki zaczęto przygotowywać pod kątem nowej metody masowej eksterminacji. Instalowano całe systemy komór gazowych i krematoriów, które miały służyć mordowaniu i kremacji tysięcy zwłok dziennie – głównie Żydów. Zgodnie z planem zagłady Żydów (tzw. Endlösung, pol.