W pewnym sensie sankcjonowało ono praktykę bojówek nazistowskich SA i SS (jeszcze sprzed zdobycia władzy w wyborach w 1933 r.) – tworzenia „prywatnych odosobnień”, w których przetrzymywano siłą osoby niechętne rodzącemu się reżimowi, zwłaszcza działaczy partii opozycyjnych.
Po zdobyciu władzy służyły one przede wszystkim wyniszczeniu opozycji antyhitlerowskiej oraz odizolowaniu ludzi uznanych za groźnych bądź „nieprzydatnych”. 20 marca 1933 r., na podstawie zarządzenia Heinricha Himmlera, zorganizowano w Dachau pierwszy obóz koncentracyjny (niektóre źródła wskazują, że pierwszym niewielkim obozem, założonym 12 marca 1933 r. był obóz Dürrgoy). Jeszcze w roku 1933 SA i SS oraz policja zorganizowały kolejne obozy, m.in. w Oranienburgu, Berlinie (tzw. Columbia-Haus), Królewcu (Quednau), Papenburgu, Esterwegen, Kemna bei Wuppertal, Sonnenburgu, Sachsenburgu, Lichtenburgu. W 1934 r. obozy koncentracyjne podporządkowano SS, a obóz w Dachau stał się obozem wzorcowym. Sztab tych obozów od 1936 r. do końca wojny mieścił się w Oranienburgu. W następnych latach założono obozy w: Sachsenhausen (1936), Buchenwaldzie (1937), Mauthausen (1938), Flossenbürgu (1938) oraz obóz dla kobiet w Ravensbrück (1939).