Władzę w ich imieniu sprawowali Starostowie Krajowi, zaś osobistym majątkiem zarządzała Komora Cieszyńska. Przełom nastąpił w 1766 r., gdy lennymi właścicielami księstwa cieszyńskiego zostali arcyksiężna Maria Krystyna Habsburg i książę saski Albert. Od tego momentu ich spadkobiercy w linii męskiej, z tytułami arcyksiążąt, byli władcami Śląska Cieszyńskiego.
Lista władców Właściciele księstwa cieszyńskiego noszący tytuł książąt cieszyńskich z dynastii Habsburskiej i Habsbursko-Lotaryńskiej (w nawiasach lata władania księstwem cieszyńskim):
król Ferdynand IV Habsburg (1653–1654) cesarz Ferdynand III Habsburg (1654–1657) cesarz Leopold I Habsburg (1657–1705) Urszula Katarzyna Bokum, metresa polskiego króla Augusta II Mocnego, otrzymała od cesarza w 1704 tytuł księżnej cieszyńskiej (niem.