Z tych samych względów, praca ze szczególnie niebezpiecznymi rozpuszczalnikami może być prowadzona w atmosferze azotu (lub innych gazów nie zawierających tlenu.) Wyspecjalizowane spin-coatery wyposażone są również w urządzenia kontrolujące prędkość i przyśpieszenie tarczy, układy kontroli temperatury próbki, a także szereg zabezpieczeń wyłączających wirnik oraz podciśnienie (by uniknąć zassania substancji powlekającej) w przypadku oderwania się próbki od tarczy. Spin-coatery mogą również zawierać elementy ułatwiające usuwanie nadmiaru substancji gromadzącej się na brzegach próbki za sprawą menisku.
Zobacz też powlekanie fluidyzacyjne
Bibliografia S. Middleman and A.K. Hochberg Process Engineering Analysis in Semiconductor Device Fabrication, McGraw-Hill, p. 313 (1993) Dirk W. Schubert, Thomas Dunkel; Spin coating from a molecular point of view: its concentration regimes, influence of molar mass and distribution; Materials Research Innovations Vol. 7, p. 314 (2003)
Linki zewnętrzne
Kategoria:Inżynieria procesowa Kategoria:Systemy i urządzenia elektroniczne Kategoria:Produkcja półprzewodników