Optymalizacja parametrów procesu Mimo pozornej prostoty, zrozumienie fizycznych aspektów spin-coatingu w stopniu wystarczającym do optymalizacji jego parametrów jest zagadnieniem trudnym; w procesie powlekania istotne jest bowiem współistnienie powodującej przepływ siły odśrodkowej z siłami przylegania, napięciem powierzchniowym, a przede wszystkim, zmieniającą się w czasie i przestrzeni lepkością, której bieżąca wartość zależy od stopnia odparowania rozpuszczalnika. W przybliżeniu, grubość uzyskanej warstwy jest odwrotnie proporcjonalna do pierwiastka prędkości wirowania i wprost proporcjonalna do lepkości roztworu, jednak warunki pokrywania są zazwyczaj optymalizowane doświadczalnie. Optymalizacja procesu powlekania obejmuje dobór odpowiednich proporcji substancji do rozpuszczalnika (wpływający na gęstość i lepkość mieszaniny) a także dobór prędkości kątowej wirowania i jej zmian w czasie. Współczesne spin-coatery umożliwiają zaprogramowanie pełnej zależności prędkości wirowania od czasu. W zależności od rodzaju substancji powlekającej i rozpuszczalnika, możliwe jest uzyskanie warstw o grubości od kilkudziesięciu nm do kilkuset μm. Grubsze warstwy mogą wymagać nanoszenia wieloetapowego (kolejne warstwy nakładane są po naniesieniu i utwardzeniu poprzednich).
Źródło i licencja
Fragment artykułu Wikipedia — Spin-coater · historia autorów.
Tekst: CC BY-SA 4.0. Wydzielono fragment z dłuższego artykułu.