Wzmianka o jego istnieniu pochodzi dopiero z końca XV wieku. W związku z reformą administracyjną Prus w 1742 r. państwo to zostało zlikwidowane i ziemia wodzisławska włączona została do powiatu pszczyńskiego, z zachowaniem pewnej autonomii, a po 1816 r. do powiatu rybnickiego. W latach 1922–1939 południowa granica ziemi wodzisławskiej stanowiła granicę z Czechosłowacją do Olzy i od Olzy w stronę Raciborza z Niemcami. Historycznie teren powiatu leży na Górnym ŚląskuHistoryczna mapa Górnego Śląska.

Dnia 1 października 1954 w województwie stalinogrodzkim (katowickim) reaktywowano powiat wodzisławski o granicach zbliżonych do historycznych granic państwa wodzisławskiego. Był to jeden z pierwszych powiatów utworzonych po wprowadzeniu gromad w miejsce dotychczasowych gmin (29 września 1954) jako podstawowych jednostek administracyjnych PRL. Na powiat wodzisławski złożyły się 1 miasto i 21 gromad, które wyłączono z powiatu rybnickiego w tymże województwie (w praktyce gromady te należały do powiatu rybnickiego przez zaledwie dwa dni).: