W 1919 r. rejencję podniesiono do rangi prowincji o nazwie Górny Śląsk, którą zniesiono w 1938 roku. Ponownie powołano w Rzeszy Wielkoniemieckiej w 1941 r., z włączonym nowym terenem i ustanowieniem Katowic miastem prowincjonalnym i miastem rejencyjnym prowincji Górny Śląsk, skąd pełniono władzę. Rejencja opolska weszła w skład powiększonej prowincji jako jedna z jej części.
Populacja Powiat Nazwa polska Populacja (1939) Beuthen (miejski) Bytom 101 029 Beuthen-Tarnowitz (ziemski) bytomsko-tarnogórski 94 227 Cosel kozielski 88 274 Falkenberg niemodliński 40 340 Gleiwitz (miejski) Gliwice 114 048 Groß Strehlitz strzelecki 93 621 Grottkau grodkowski 40 157 Hindenburg (miejski) Zabrze 126 079 Kreuzburg kluczborski 50 301 Leobschütz głubczycki 82 264 Neisse (miejski) Nysa 35 433 Neisse (ziemski) nyski 70 515 Neustadt prudnicki 95 815 Oppeln (miejski) Opole 50 540 Oppeln (ziemski) opolski 144 644 Ratibor (miejski) Racibórz 49 725 Ratibor (ziemski) raciborski 115 182 Rosenberg oleski 56 157 Tost-Glewitz (ziemski) toszecko-gliwicki 94 407 Razem 1 542 758
Skład etniczny Spisy ludności w Niemczech, zwłaszcza na terenach o ludności mieszanej narodowościowo podporządkowane były celom politycznym i zmierzały do pomniejszenia roli mniejszości narodowych.