Zgodnie z PN-EN ISO 14644-1:2016-03 zaktualizowano wzór, według którego zostaje wyliczona minimalna liczba punktów do poboru próbek powietrza na potrzeby klasyfikacji pomieszczenia czystego. Przyjęcie nowego podejścia do poboru prób umożliwia wnioskowanie z 95% poziomem ufności, że co najmniej 90% lokalizacji pomieszczenia nie przekracza limitu dla danej klasy czystości powietrza.
Norma US FED STD 209E cząstki/stopa sześcienna Klasa 0,1 µm 0,2 µm 0,3 µm 0,5 µm 1 µm 5 µm 1 35 7 3 1 10 350 75 30 10 1 100 3 500 750 300 100 10 1 1 000 1 000 100 10 10 000 10 000 1 000 100 100 000 100 000 10 000 1 000 Uwaga: Norma US FED STD 209E została unieważniona 29 listopada 2001. https://web.archive.org/web/20080406183723/http://www.iest.org/i4a/pages/index.cfm?pageid=3480
Norma ISO 14644-1 cząstki/metr sześcienny Klasa 0,1 µm 0,2 µm 0,3 µm 0,5 µm 1 µm 5 µm ISO 1 10 2 ISO 2 100 24 10 4 ISO 3 1 000 237 102 35 8 ISO 4 10 000 2 370 1 020 352 83 ISO 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29 ISO 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293 ISO 7 352 000 83 200 2 930 ISO 8 3 520 000 832 000 29 300 ISO 9 35 200 000 8 320 000 293 000
Porównanie ISO 14644-1 FED STD 209E ISO 3 1 ISO 4 10 ISO 5 100 ISO 6 1 000 ISO 7 10 000 ISO 8 100 000
Przypisy
Linki zewnętrzne
(en)
Kategoria:Technologia Kategoria:Pomieszczenia Kategoria:Metodologia nauki Kategoria:Produkcja półprzewodników