Rekombinacja cząsteczek dwuatomowych w zdefektowanych fragmentach struktury, gdzie zostają uwięzione (pułapkowanie), powoduje wzrost naprężeń w otoczeniu. Dodatkowo zachodzą reakcje chemiczne, np. powierzchniowe odwęglanie ziaren stopów żelaza z węglem z utworzeniem metanu uwięzionego w „pułapkach” sieciowych, lub powstawanie pary wodnej wewnątrz struktury stopów miedzi, zawierających tlenki miedzi. + Warunek powstawania szczelnych warstewek tlenków:Vp/ Vm ≥ 1Vp, Vm – objętość molowa tlenku i metalu Metal Tlenek Vp/Vm K K2O 0,21 Na Na2O 0,57 Ca CaO 0,64 Mg MgO 0,79 Al. Al2O3 1,21 Zn ZnO 1,57 Ni NiO 1,6 Cr Cr2O3 2,03 Fe Fe2O3 2,16 thumb|left|Powstawanie nalotu na stali chromowej (pasywacja) thumb|left|Typowy (góra) i nietypowy (dół) mechanizm wzrostu warstwy tlenkowejPrzykłady: łuszcząca się zgorzeliny na stali i warstwy tlenków wolframu (dół) thumb|160px|Elementy kinetyki wzrostu warstewek tlenków1,2,3 – prawo liniowe, paraboliczne i logarytmiczne
Utlenianie powierzchni metali w wysokich temperaturach rozpoczynają procesy: – adsorpcja tlenu na powierzchni – jonizacja zaadsorbowanych cząsteczek – reakcja z atomami metalu, znajdującymi się na jego powierzchni