Związał się z Jacqueliną Marguerittą Carraut, córką piwowara, która zaszła z nim w ciążę, i aby uratować przyszłego syna przed piętnem dziecka z nieprawego łoża, 2 stycznia 1758 zawarła z nim związek małżeński nieaprobowany przez rodzinę Robespierre’a. Matka Robespierre’a rodząc co roku dziecko zmarła przy piątym porodzie, a ojciec po jej śmierci pozostawił wychowanie dzieci dziadkom.
Maximilien, podobnie jak jego młodszy brat Augustin, był wychowywany przez dziadków ze strony matki, natomiast jego siostry, Charlottę i Henriettę, wychowywała ciotka ze strony ojca. Zdobył staranne wykształcenie podstawowe, wpajano mu też dogmaty religii katolickiej, na tyle nieskutecznie, że już jako student Robespierre deklarował się jako deista. Był wielkim miłośnikiem twórczości Jeana Jacques’a Rousseau, co miało odzwierciedlenie w jego poglądach i późniejszych działaniach – szczególnie ważnym dziełem była dla niego Umowa społeczna. Nawet patriotyzm Robespierre’a opierał się na definicji Rousseau, cyt. Nie może być patriotyzmu bez wolności; nie ma wolności bez cnoty; nie ma cnoty bez obywateli. Stwórzcie obywateli, a będziecie mieli wszystko, czego chcecie;