Próżniomierz w postaci triody cylindrycznej pracuje dobrze przy ciśnieniach z zakresu 10−3 – 10−8 Tr.

Innym rozwiązaniem próżniomierza jonizacyjnego jest głowica Bayarda-Alperta, w którym kolektor ma postać cienkiego pręta metalowego. Taki próżniomierz wykazuje większą czułość w porównaniu do triody cylindrycznej – umożliwia pomiar niższych ciśnień (co najmniej 10−9 Tr). Do pomiaru ciśnień niższych nadają się sondy jonizacyjne ekstraktorowe i J-G, w których eliminuje się m.in. sygnały fałszywe pochodzące od miękkiego promieniowania X w sondzie. Dzięki temu próżniomierze te pozwalają mierzyć próżnię rzędu 10−12 Tr. Konstruktorem głowicy J-G był polski uczony Janusz Groszkowski.

Próżniomierz cieplno-przewodnościowy (Piraniego) ma postać odcinka drutu (platyna, wolfram), którego końce włączone są do źródła prądu, zaś sam drut znajduje się w obszarze badanej próżni. Im lepsza próżnia, tym mniej gazu i tym gorzej jest odprowadzane ciepło z drutu, co powoduje wzrost jego temperatury. Wskutek tego zwiększa się oporność drutu, którą mierzy się włączając szeregowo amperomierz lub też włączając sondę w jedno z ramion mostka Wheatstone'a.